デリケートな電子部品を守る汎用性の高い潤滑剤
電子機器・半導体製造において、コンタミネーションは機器の精度、操作の再現性、機器の寿命を損ないます。電子機器・半導体製造現場の真空ポンプやクリーンルームで使用される高機能潤滑剤は、汚染物質やアウトガスを低減できます。それによって、機器の稼働寿命を延ばしつつ、歩留まりの向上に貢献します。
高温環境で使用できる多目的の耐腐食性潤滑剤（グリース、オイル、真空ポンプオイル）は、以下のような様々な生産ラインの部品にも使用されています。
- ベアリング
- バルブ
- シール
- Oリング
- チェーン
- コンプレッサー
- ギアボックス
- 機械式ポンプなどの部品
Krytox™（クライトックス™）高機能潤滑剤は、電子機器・半導体産業に優れた安全性と保護性能を提供します。この長寿命のオイルやグリースは、ウェットポンプやドライポンプ、真空システム、クリーンルーム、ロボットシステムなどで日常的に使用されています。Krytox™（クライトックス™）高機能潤滑剤はこれらの用途で保証要件を満たしているか、それを上回っており、すべての主要な真空ポンプメーカーとOEM機器サプライヤーに認められています。
クリーンルーム向けの安定性・安全性が高い潤滑剤
Krytox™（クライトックス™）高機能潤滑剤は、炭化水素系、シリコン系、およびクロロフルオロカーボン系のグリースでは対応できない過酷な温度や圧力に耐え、繊細な電子部品に安定した環境を提供します。
反応性のある化学物質や材料は、半導体や電子機器にもダメージを与える可能性があるため、それらの物質と適合性のない潤滑剤を使用すると、部品に損傷をきたす恐れがあります。Krytox™（クライトックス™）高機能潤滑剤は、化学的にも生物学的にも不活性であり、酸素との適合性があり、ほぼすべての化学物質、プラスチック、金属、エラストマーに反応しません。
Krytox™（クライトックス™）潤滑剤は過酷な環境下における安定性と安全性を実現するだけでなく、長持ちするため、頻繁に部品の再潤滑を行う必要がありません。
また、Krytox™（クライトックス™）高機能潤滑剤は、電子機器や半導体産業での使用に適した以下の特性を備えています。
- 10～13 mmHgという低い蒸気圧で、-15～+300℃の高温に耐える優れた蒸気圧性能
- 酸性または苛性のクリーナーや消毒剤、蒸気や湿気に反応せず、ダメージを受けにくい
- 揮発性有機化合物（VOC）物質や塩素を含まず、安全に使用できる
- 最小限の環境フットプリント、溶剤の再生が可能
- 業界で一般的に使われる化学物質との適合性
Krytox™（クライトックス™）VPF（Vacuum Pump Fluids：真空ポンプオイル用）
Krytox™（クライトックス™）VPFは、従来の真空ポンプオイルでは安全性、廃棄物処理、メンテナンスなどの問題が生じる可能性のある用途に用いられています。Krytox™（クライトックス™）VPFは安定性が高く、廃棄物やメンテナンスの問題を抑制します。また、不燃性であるため、ポンプの出火の可能性を減らすことができます。
さらに、Krytox™（クライトックス™）VPFはアセタール基を含まないため、半導体製造において重要な成分であるルイス酸によるダメージを受けにくいという特徴があります。こうした独自の特性により、主要な真空ポンプメーカーに広く認められている潤滑剤です。
Krytox™（クライトックス™）LVP（Low Vapor Pressure：低蒸気圧用）グリース
Krytox™（クライトックス™）LVPグリースは爆発、発火、分解したり、反応して粘着性または固体の沈殿物を形成したり、発火の燃料になったりすることはありません。
詳しくは、製品ページをご覧ください。
